[â¿ø=´º½Ã½º]Åõ¸íÇÑ ³»ÇöóÁ¼º °í¿£Æ®·ÎÇÇ ¼¼¶ó¹ÍÀ» ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î °³¹ßÇÑ ±¹³» ¿¬±¸Áø. ¿ÞÂʺÎÅÍ Çѱ¹Àç·á¿¬±¸¿ø ³ª³ëÀç·á¿¬±¸º»ºÎ ¸¶È£Áø ¼±ÀÓ¿¬±¸¿ø°ú ½ÅÀ¯ºó ¼®»ç°úÁ¤ Çлý¿¬±¸¿ø, ºÎ»ê´ëÇб³ ÀÌÁ¤¿ì ±³¼ö.(»çÁø=Çѱ¹Àç·á¿¬±¸¿ø Á¦°ø) 0225.01.15.photo@newsis.com[â¿ø=´º½Ã½º]È«Á¤¸í ±âÀÚ = Çѱ¹Àç·á¿¬±¸¿ø(KIMS)Àº ³ª³ëÀç·á¿¬±¸º»ºÎ ¸¶È£Áø ¹Ú»ç ¿¬±¸ÆÀÀÌ ºÎ»ê´ë ÀÌÁ¤¿ì ±³¼öÆÀ°ú °øµ¿ ¿¬±¸¸¦ ÅëÇØ 'Åõ¸íÇÑ ³»ÇöóÁ¼º °í¿£Æ®·ÎÇÇ ¼¼¶ó¹Í'À» ¼¼°è ÃÖÃÊ °³¹ßÇß´Ù°í 15ÀÏ ¹àÇû´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤ Áß ½Ä°¢Àåºñ ³»ºÎ ºÎÇ°ÀÇ ¼ö¸íÀ» ´Ã¸®°í ¿À¿° ÀÔÀÚ¸¦ ÁÙÀÌ´Â Åõ¸íÇÑ ³»ÇöóÁ¼º °í¿£Æ®·ÎÇÇ ¼¼¶ó¹Í ½Å(ãæ) Á¶¼º°ú °øÁ¤ ±â¼ú °³¹ß¿¡ ¼º°øÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ¿©±â¼ '½Ä°¢°øÁ¤'Àº ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ °úÁ¤ Áß Æ¯Á¤ ºÎºÐÀ» ¼±ÅÃÀûÀ¸·Î Á¦°ÅÇØ ¿øÇÏ´Â ÆÐÅÏ°ú ±¸Á¶¸¦ ¸¸µå´Â ±â¼úÀ» ¸»ÇÑ´Ù. ½Ä°¢°øÁ¤Àº Å©°Ô '°Ç½Ä ½Ä°¢(Dry Etching)'°ú '½À½Ä ½Ä°¢(Wet Etching)'À¸·Î ³ª´µ¸ç, °Ç½Ä ½Ä°¢À» ÁøÇàÇÒ ¶§ ÇöóÁ°¡ »ç¿ëµÇ´Âµ¥, À̶§ Àåºñ ºÎÇ°°ú ÇöóÁ¿Í ¹ÝÀÀÇØ ¿À¿° ÀÔÀÚ¸¦ ¹ß»ý½ÃÅ°´Â ¹®Á¦°¡ ÀÖ´Ù. ¼¼¶ó¹ÍÀº ´Ù¸¥ ¼ÒÀ纸´Ù ÇöóÁ ÀúÇ×¼º(ÇöóÁ¸¦ °ßµð´Â Èû)ÀÌ ³ô¾Æ, ¹ÝµµÃ¼ ½Ä°¢Àåºñ ³»ºÎ ¼ÒÀç¿¡¼ 90% ÀÌ»óÀ» Â÷ÁöÇÑ´Ù. ¹è°¡ ¹Ù´å¹°°ú ºÎµúÇô ³ì½½ µí ½Ä°¢°øÁ¤ °úÁ¤¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â ÇöóÁ°¡ Àåºñ ³»ºÎ ºÎÇ°°ú Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ¹ÝÀÀÇØ ºÎ½Ä°ú ¿À¿°À» ¹ß»ý½ÃŲ´Ù. µû¶ó¼ ÀÌ¿Í °°Àº ¹®Á¦¸¦ ÁÙÀÌ´Â ¼ÒÀç·Î ¼¼¶ó¹ÍÀÌ »ç¿ëµÈ´Ù. ÇÏÁö¸¸ ¹ÝµµÃ¼ÀÇ °íÁýÀûÈ·Î Á¡Á¡ °¡È¤ÇÑ È¯°æ¿¡¼ ½Ä°¢°øÁ¤ÀÌ ÁøÇàµÊ¿¡ µû¶ó ÀϹÝÀûÀ¸·Î È°¿ëµÇ´Â ¼¼¶ó¹Í ºÎÇ° ±³Ã¼ ºóµµ°¡ Àæ¾ÆÁö°í ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¼ºÀÌ ÀúÇصǰí ÀÖ´Ù. [â¿ø=´º½Ã½º]Çѱ¹Àç·á¿¬±¸¿ø ¿¬±¸ÆÀÀÌ ºÎ»ê´ë ¿¬±¸ÆÀ°ú Á¦ÀÛÇÑ Åõ¸í ³»ÇöóÁ¼º °í¿£Æ®·ÎÇÇ ¼¼¶ó¹Í »çÁø°ú °áÁ¤ ±¸Á¶ ¸ðµ¨.(ÀÚ·á=Çѱ¹Àç·á¿¬±¸¿ø Á¦°ø) 2025.01.15.photo@newsis.comÀÌ¿¡ ¸¶È£Áø ¹Ú»ç µî °øµ¿ ¿¬±¸ÆÀÀº ±âÁ¸¿¡ ÁÖ·Î È°¿ëµÇ´Â ¼¼¶ó¹Í ¼ÒÀçÀÎ ÀÌÆ®¸®¾Æ(Y2O3), ¾Ë·ç¹Ì³ª(Al2O3), ¾ß±×(YAG) Á¶¼ºÀÇ ÇÑ°è¿¡¼ ¹þ¾î³ª »õ·Î¿î °í¿£Æ®·ÎÇÇ ¼¼¶ó¹Í Á¶¼ºÀ» ¼³°èÇÏ°í, ¹«±â°ø Ä¡¹Ðü(¹Ðµµ°¡ ³ôÀº °íü »óÅÂÀÇ Àç·á) ¼Ò°á °øÁ¤ ±â¼úÀ» ÅëÇØ 99.9% ¹ÐµµÀÇ Åõ¸íÇÑ ¼¼¶ó¹ÍÀ» °³¹ßÇß´Ù. ÀÌ¿Í °°Àº Ä¡¹Ðü´Â ÇöóÁ ³»¼ºÀ» ¿ä±¸ÇÏ´Â ½Ä°¢ °øÁ¤ Àåºñ¿¡ È°¿ëµÈ´Ù. ¿¬±¸ÆÀÀº ¶Ç, °í¿£Æ®·ÎÇÇ ¼¼¶ó¹ÍÀ» ±¸¼ºÇÏ´Â ¿ø¼ÒÀÇ °áÁ¤±¸Á¶ º¯È¸¦ È®ÀÎÇÏ°í ±â°øÀ» Á¦¾îÇÏ´Â ±â¼ú·Î °¡½Ã±¤¼±°ú Àû¿Ü¼±À» Åõ°úÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Åõ¸í ¼¼¶ó¹ÍÀ» °³¹ßÇß´Ù. °í¿£Æ®·ÎÇÇ ¼¼¶ó¹ÍÀº ÀÏ¹Ý ¼ÒÀç¿Í ´Þ¸® 5°³ ÀÌ»ó ¿ø¼Ò¸¦ È¥ÇÕÇØ ºÒ¼ø¹°À» Çü¼ºÇÏÁö ¾Ê°í ÇϳªÀÇ ±ÕÀÏÇÑ ±¸Á¶¸¦ Çü¼ºÇÏ´Â ¼¼¶ó¹ÍÀÌ´Ù. ±âÁ¸ ¼ÒÀç¿Í ´Ù¸£°Ô ³ôÀº ³»¿¼º°ú ¿ì¼öÇÑ ³»¸¶¸ð¼º, ³·Àº ¿Àüµµ¼º µî »õ·Î¿î Ư¼ºÀ» ¹ßÈÖÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® ¿ Â÷Æó Àç·á, Ã˸Š¹× ¿¡³ÊÁö ÀúÀå ¹°Áú·Î ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Ù. ÇÏÁö¸¸ Áö±Ý±îÁö ÇöóÁ ÀúÇ×¼º¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸´Â ÁøÇàµÇÁö ¾Ê¾Ò°í, °øµ¿ ¿¬±¸ÆÀÀº ÀÌ¿¡ ÁÖ¸ñÇØ ¿¬±¸°³¹ßÀ» ÁøÇàÇÏ¿© ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î ¼º°øÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ ½Ä°¢À²ÀÌ ³·Àº ¼ÒÀç´Â ¿À¿° ÀÔÀÚ°¡ Àû°í ³»±¸¼ºÀÌ ³ô´Ù´Â °ÍÀ» ÀǹÌÇÑ´Ù. [â¿ø=´º½Ã½º]Åõ¸íÇÑ ³»ÇöóÁ¼º °í¿£Æ®·ÎÇÇ ¼¼¶ó¹ÍÀ» °³¹ßÇÑ Çѱ¹Àç·á¿¬±¸¿ø ³ª³ëÀç·á¿¬±¸º»ºÎ ¸¶È£Áø(¿À¸¥ÂÊ) ¼±ÀÓ¿¬±¸¿ø°ú ½ÅÀ¯ºó ¼®»ç°úÁ¤ Çлý¿¬±¸¿ø.(»çÁø=Çѱ¹Àç·á¿¬±¸¿ø Á¦°ø) 0225.01.15. photo@newsis.com¿¬±¸ÆÀÀÌ °³¹ßÇÑ °í¿£Æ®·ÎÇÇ Åõ¸í ¼¼¶ó¹ÍÀº »çÆÄÀ̾î¿Í ºñ±³ÇßÀ» ¶§ 1.13% ¼öÁØÀ¸·Î ³·Àº ½Ä°¢À²À» ³ªÅ¸³Â´Ù. ¶ÇÇÑ ÇöóÁ ÀúÇ×¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÏ´Ù°í ¾Ë·ÁÁø ÀÌÆ®¸®¾Æ(Y2O3)¿¡ ºñ±³ÇßÀ» ¶§´Â 8.25% ¼öÁØ¿¡ ºÒ°úÇÒ Á¤µµ·Î ½Ä°¢À²ÀÌ ³·¾Æ ¶Ù¾î³ ³»±¸¼ºÀ» ÀÔÁõÇß´Ù. KIMS ¸¶È£Áø ¼±ÀÓ¿¬±¸¿øÀº "¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Áß ÇöóÁ ½Ä°¢°øÁ¤Àº ¹Ì±¹°ú ÀϺ»ÀÇ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ°¡ 90% ÀÌ»óÀ» Àå¾ÇÇÏ°í ÀÖ¾î ±¹³» »ê¾÷°èÀÇ ´ë¿ÜÀÇÁ¸µµ°¡ ½É°¢ÇÑ »óȲÀÌ´Ù"¸é¼ "À̹ø ¿¬±¸¼º°ú´Â Áö±Ý±îÁö ¿¬±¸µÈ ÀûÀÌ ¾ø´Â °í¿£Æ®·ÎÇÇ ¼¼¶ó¹ÍÀ» °³¹ßÇØ ¼¼°è ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ ³»ÇöóÁ¼º ¼ÒÀ縦 ±¹³» µ¶ÀÚ ±â¼ú·Î °³¹ßÇÑ ´ëÇ¥Àû »ç·Ê´Ù"°í °Á¶Çß´Ù. ±×·¯¸é¼ "¾ÕÀ¸·Î ¼ÒÀç ÀÚ¸³È¸¦ ÅëÇØ ºÎÇ° ±¹»êȸ¦ ÀÌ·ç´Â Ãʼ®ÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù"°í Çß´Ù. À̹ø ¿¬±¸ ¼º°ú´Â Çѱ¹Àç·á¿¬±¸¿ø ÀÚü»ç¾÷ Áö¿øÀ» ¹Þ¾Æ ÁøÇàµÆÀ¸¸ç, ¿¬±¸ °á°ú´Â ¼¼¶ó¹Í Àç·á ºÐ¾ß¿¡¼ ¼¼°èÀûÀ¸·Î ¿µÇâ·Â ³ôÀº ÇмúÁö 'Àú³Î ¿Àºê ¾îµå¹ê½ºµå ¼¼¶ó¹Í½º(Journal of Advanced Ceramics, IF: 18.6)' 1¿ù13ÀÏÀÚ ¿Â¶óÀÎ ÆÇ¿¡ °ÔÀçµÆ´Ù. ¡Ý°ø°¨¾ð·Ð ´º½Ã½º hjm@newsis.com
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ¨Ï °ø°¨¾ð·Ð ´º½Ã½ºÅë½Å»ç. ¹«´ÜÀüÀç-Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö.> |